德國ForschungszentrumKarlsruhe公司的微結構技術研究院是一家大型的、以政府基金為基礎的研究機構。該機構的研究人員開發了實驗室規模的熱成型工藝,據說該工藝可成型尺寸在0.1~1000nm之間(1000nm=1μm)的微型部件,首次達到了工業標準的微成型要求。開發該工藝的目的是為了滿足生命科學領域對微型部件的需求,如用於藥學研究的生化試劑的合成與分析用一次性LOC微射流裝置。
作為一種微觀改進的技術,種新的熱成型系統包括3個部分:帶有微型型腔的平板模具,一台用於產生真空和氣壓的帶孔壓板,以及模具與壓板之間的密封設施。其工藝過程是:將模具安裝到一台實驗室用的壓機上,然後將一片塑料薄膜(20~50μm)嵌入模具中。壓機閉合后,儘管在模具與壓板之間的薄膜沒有被壓緊,但是仍然獲得了一定的真空度。隨著模具的完全閉合,薄膜被壓緊,同時也被加熱,當薄膜達到熱變型溫度以後,就會在大約50bar的氣壓作用下流入模具型腔中,這時模具已經冷卻到20℃,低於材料的熱變型溫度。隨著氣壓的下降,模具打開,微型部件即被成型出來。