電火花加工脈衝放電時會導致工作液擊穿，在放電區域產生瞬間高溫將工件表面金屬熔化或汽化。其微觀過程是放電產生電子或離子轟擊金屬表面，而粒子轟擊方向與工具工件所處電極相關，脈寬不同時逸出的粒子種類不同，所以由此可知工具電極也受到轟擊而造成工具損耗。電火花線切割的加工電極絲損耗原因亦是如此。另外，加工過程中如果脈寬過小，會出現二次放電而造成拉弧，燒傷加工表面的同時也會損傷電極絲。不僅如此，加工過程中峰值電流也會造成電極絲損耗，其影響甚至高出脈寬的影響。峰值電流過高不僅會造成加工面達不到精度要求，同時也會損耗電極絲。
