按真空泵工作原理真空泵基本上分兩種類型即氣體傳輸泵和氣體捕集泵隨著真空應用技術生產和科學研究領域對其應用壓強範圍要求越來越寬大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統共同抽氣才能滿足生產和科學研究過程要求因此選用同類型真空泵組成真空抽氣機組進行抽氣情況較多了方便起見些泵按其工作原理或其結構特點進行些具體詳細分類必要現分述下：
、氣體傳輸泵
氣體傳輸泵種能使氣體斷吸入和排出借達抽氣目真空泵種泵基本上有兩種類型：
1）變容真空泵
變容真空泵利用泵腔容積周期性變化來完成吸氣和排氣過程種真空泵氣體排出前被壓縮種泵分往複式及旋轉式兩種：
⑴往複真空泵：利用泵腔內活塞做往複運動氣體吸入、壓縮並排出因此又稱活塞式真空泵
⑵旋轉真空泵：利用泵腔內活塞做旋轉運動氣體吸入壓縮並排出旋轉真空泵又有下幾種型式：
①油封式真空泵：利用油類密封各運動部件之間間隙減少有害空間種旋轉變容真空泵種泵通常帶有氣鎮裝置故又稱氣鎮式真空泵按其結構特點分下五種型式
a)旋片式真空泵：轉子定偏心距裝泵殼內並與泵殼內表面固定面靠近轉子槽內裝有兩（或兩上）旋片當轉子旋轉時旋片能沿其徑向槽往複滑動且與泵殼內壁始終接觸此旋片隨轉子起旋轉泵腔分成幾變容積
b）滑閥式真空泵：偏心轉子外部裝有滑閥轉子旋轉帶動滑閥沿泵殼內壁滑動和滾動滑閥上部滑閥桿能擺動滑閥導軌滑動而把泵腔分成兩變容積
c）定片式真空泵：泵殼內裝有與泵內表面靠近偏心轉子泵殼上裝有始終與轉子表面接觸徑向滑片當轉子旋轉時滑片能上、下滑動泵腔分成兩變容積
d）余擺線式真空泵：泵腔內偏心裝有型線余擺線轉子沿泵腔內壁轉動並泵腔分成兩變容積
e）多室旋片式真空泵：泵殼內並聯裝有由同電動機驅動多獨立工作室旋片真空泵
②乾式真空泵：種用油類（或液體）密封變容真空泵
③液環式真空泵：帶有多葉片轉子偏心裝泵殼內當旋轉時把液體（通常水或油）拋向泵殼形成泵殼同心液環液環同轉子葉片形成了容積周期變化幾小容積故亦稱旋轉變容真空泵
④羅茨真空泵：泵內裝有兩相反方向同步旋轉雙葉形或多葉形轉子轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持定間隙屬於旋轉變真空泵機械增壓泵即種型式真空泵
2）動量傳輸泵
種泵依靠高速旋轉葉片或高速射流把動量傳輸給氣體或氣體分子使氣體連續斷地從泵入口傳輸出口具體分下述幾種類型
⑴分子真空泵：利用高速旋轉轉子把能量傳輸給氣體分子使之壓縮、排氣種真空泵有下幾種型式：
①牽引分子泵：氣體分子與高速運動轉子相碰撞而獲得動量被送出口因此種動量傳輸泵
②渦輪分子泵：泵內裝有帶槽圓盤或帶葉片轉子定子圓盤（或定片）間旋轉轉子圓周線速度高種泵通常分子流狀態下工作
③複合分子泵：由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯組合起來種複合式分子真空泵
⑵噴射真空泵：利用文丘里（Venturi）效應壓力降產生高速射流把氣體輸送出口種動量傳輸泵適於粘滯流和過渡流狀態下工作種泵又詳細地分成下幾種：
①液體噴射真空泵：液體（通常水）工作介質噴射真空泵
②氣體噴射真空泵：非凝性氣體作工作介質噴射真空泵
③蒸氣噴射真空泵：蒸氣（水、油或汞等蒸氣）作工作介質噴射真空泵
⑶擴散泵：低壓高速蒸氣流（油或汞等蒸氣）作工作介質噴射真空泵氣體分子擴散蒸氣射流被送出口射流氣體分子密度始終低種泵適於分子流狀態下工作分：
①自凈化擴散泵：泵液易揮發雜質經專門機械輸送出口而回鍋爐種油擴散泵
②分餾式擴散泵：種泵具有分餾裝置使蒸氣壓強較低工作液蒸氣進入高真空工作噴嘴而蒸氣壓強較高工作液蒸氣進入低真空工作噴嘴種多級油擴散泵
⑷擴散噴射泵：種有擴散泵特性單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性單級或多級噴嘴串聯組成種動量傳輸泵油增壓泵即屬於種型式
⑸離子傳輸泵：被電離氣體電磁場或電場作用下輸送出口種動量傳輸泵
二、氣體捕集泵
種泵種使氣體分子被吸附或凝結泵內表面上從而減小了容器內氣體分子數目而達抽氣目真空泵有下幾種型式
1）吸附泵
主要依靠具有大表面吸附劑（多孔物質）物理吸附作用來抽氣種捕集式真空泵
2）吸氣劑泵
種利用吸氣劑化學結合方式捕獲氣體真空泵吸氣劑通常塊狀或沉積新鮮薄膜形式存金屬或合金升華泵即屬於種型式
3）吸氣劑離子泵
使被電離氣體通過電磁場或電場作用吸附有吸氣材料表面上達抽氣目有下幾種型式
⑴蒸發離子泵：泵內被電離氣體吸附間斷或連續方式升華（或蒸發）而覆泵內壁吸氣材料上實現抽氣種真空泵
⑵濺射離子泵：泵內被電離氣體吸附由陰極連續濺射散出來吸氣材料上實現抽氣目種真空泵
4）低溫泵
利用低溫表面捕集氣體真空泵
3.1.3 真空泵性能參數及使用範圍
3.1.3.1 真空泵性能參數
1）真空泵極限壓強
泵極限壓強單位Pa指泵入口處裝有標準試驗罩並按規定條件工作引入氣體正常工作情況下趨向穩定低壓強
2）真空泵抽氣速率
泵抽氣速率單位m3/s或l/s指泵裝有標準試驗罩並按規定條件工作時從試驗罩流過氣體流量與試驗罩指定位置測得平衡壓強之比簡稱泵抽速
3）真空泵抽氣量
真空泵抽氣量單位Pa m3/s或Pa l/s指泵入口氣體流量
4）真空泵起動壓強
真空泵起動壓強單位Pa指泵無損壞起動並有抽氣作用時壓強
5）泵前級壓強
真空泵前級壓強單位Pa指排氣壓強低於大氣壓真空泵出口壓強
6）真空泵大前級壓強
真空泵口大前級壓強單位Pa指超過了能使泵損壞前級壓強
7）真空泵大工作壓強
真空泵大工作壓強單位Pa指對應大抽氣量入口壓強此壓強下泵能連續工作而惡化或損壞
8）壓縮比
壓縮比指泵對給定氣體出口壓強與入口壓強之比
9）何氏係數
泵抽氣通道面積上實際抽速與該處按分子瀉流計算理論抽速之比
10）抽速係數
泵實際抽速與泵入口處按分子瀉流計算理論抽速之比
11）返流率
泵返流率單位g/cm2.s指泵按規定條件工作時通過泵入口單位面積泵流質量流率
12）水蒸氣允許量
水蒸氣允許量單位kg/h指泵正常環境條件下氣鎮泵連續工作時能抽除水蒸氣質量流量
13）大允許水蒸氣入口壓強
大允許水蒸氣入口壓強單位Pa 指正常環境條件下氣鎮泵連續工作時所能抽除水蒸氣高入口壓強
詳細資料參見下網址：www.sky.ac.cn/jiangzuo/4.doc（真空科學技術及應用講座）
至於說工業氣體需要具體指明哪種氣體才能具體問題具體分析比有無腐蝕性氣體（包括空氣、氮氣和水蒸氣等）、有腐蝕性氣體（氯氣、氯化氫等）、易燃易爆氣體（氫氣）等等
（1）按真空泵結構分類 a、機械式。這類真空泵類似於壓縮機，屬於容積型的有往複式與迴轉式結構，還有屬於動力式的渦輪分子泵，它們都屬於抽除式真空泵。 b、噴射泵。有噴射泵與擴散泵兩種形式，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬於抽除式真空泵。 c、吸著式。依靠物理或化學方法使氣體分子吸著在泵壁表面，屬於捕集式真空泵。 （2）按真空泵的工作原理分類 a、抽除式，真空泵抽吸系統中的氣體，並將氣體分子排至系統之外。 b、捕集式。真空泵捕集系統中的氣體分子，直接吸附在泵工作壁面上而不排出系統。 （3）按真空泵在系統中的工作職能分類 a、主抽氣泵。實現所要求壓力的主要工作泵。 b、預抽氣泵。當主抽氣泵不能在大氣狀態直接開始抽吸時，需要預抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進入工作。 c、前級泵。當主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時，需串接前級泵排送。 d、維持泵。當主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由於系統泄漏或表面蒸發等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續抽吸。
