輸出量與輸入量成一定函數關?S並能快速響應的液壓控制閥?是液壓伺服系統的重要元件。液壓伺服閥按結構分為滑閥式?噴嘴擋板式?射流管式?射流板式和平板式等?按輸入信號可分為機液伺服閥?電液伺服閥和氣液伺服閥。機液伺服閥是將小功率的機械動作轉變為液壓輸出量(流量或壓力)的機液轉換元件。機液伺服閥大都是滑閥式結構?在船舶的舵機?機床的仿形裝置?飛機的助力器上應用最早。
電液伺服閥是將電量轉變成液壓輸出量的電液轉換元件?出現於1940年。到50年代?這種元件的結構趨於成熟。隨著電子技術和計算機技術的發展?電液伺服系統的性能得到顯著改善?大大優於其他的液壓伺服系統?因而得到廣泛應用。電液伺服閥的內部結構可分滑閥位置反饋?載荷壓力反饋和載荷流量反饋?閥的級數可分單級?雙級和多級。在電液伺服閥中?將電信號轉變為旋轉或直線運動的部件稱為力矩馬達或力馬達。力矩馬達浸泡在油液中的稱為濕式?不浸泡在油液中的稱為乾式。其中以滑閥位置反饋?兩級乾式電液伺服閥應用最廣。
電液伺服閥的工作原理圖 為電液伺服閥的工作原理。
力矩馬達在線圈中通入電流后?生扭矩?使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動?移動的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時?就在主閥芯兩端面上?生壓力差推動主閥芯左移?使壓力油口P S與載荷1口相通?回油口與載荷 2口相通。主閥芯左移的同時通過反饋桿對力矩馬達?生的力矩和擋板的位移進行負反饋。因此?主閥芯的位移量就能精確地隨著電流的大小和方向而變化?從而控制通向液壓執行元件的流量和壓力。氣液伺服閥是將氣動量轉變為液壓輸出量的氣液轉換元件。