1。首先你要排除真空室是否有漏氣的可能，如果機械泵+羅茨泵共同工作時抽不到設定的負壓，一是這套系統可能有問題，二是真空系統可能有漏氣的地方。2。你現在機械泵+羅茨泵可以抽真空到多少？能進-1Pa么？3。檢查一下泵油是否需要更換。4。如果你懷疑羅茨泵的問題，可以檢查一下羅茨泵的軸封，羅茨泵的軸封是一個容易發生問題的地方。
