真空泵油在使用過程中，由於氧化、乳化及外界混入各類雜質等原因，其中一部分油變質，當變質成分和雜質多到一定程度時，油的顏色發生變化，黏度和酸值升高了，析出不溶性的樹脂狀物質，致使真空泵油的蒸氣壓增高，性能惡化。此時泵油不能繼續使用了，必須更換新的泵油。
為防止真空泵油中的粉塵、顆拉物質隨泵油一起進入泵腔.對某些工藝過程.在泵運轉過程中應設有連續過濾裝置。灰塵、雜質及被污染的油沉入主油箱底部后，通過回油管流入副油箱經過分離、沉澱，乳化后的油、水、灰塵和雜質沉入副油箱底部由排放閥定期放出.而相對乾淨的油則由設於副油箱中上部的過濾器過濾后經進油管進入分油腔后供給端蓋和泵腔工作。
過濾器內的過濾芯在油經過時擋住了機械污染物.凈化了真空泵油。過濾器上常常連上壓力表以顯示過濾器是否堵塞。當壓力增加，油不能正常流動時。即為過濾器堵塞，應更換或清洗過濾芯。
旋片泵一般每周檢查一下油量。換油的時間間隔依工作條件而定.一般因油潤滑不良、油分解或污染物太多使泵極限壓力上升時，就需要更換油了。
從排氣閥排出的被抽介質和油經過分離式排氣帽時，氣體和一部分蒸汽由排氣口排出，閥門與泵連動，即泵工作時.閥門啟動.油路口打開充氣口關閉。泵停止時，閥門油路口關閉，同時充氣口打開，大氣從進氣口經進油管向泵腔充氣而破壞泵腔內真空.使真空泵油無法進入泵腔。
