由於由於氣動隔膜泵氣動隔膜泵空間的容積是逐漸增大，氣體壓強降低，氣動隔膜泵泵的入口處外部氣體壓強大於空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最後與排氣口相通。空間的容積是逐漸增大，氣體壓強降低，氣動隔膜泵泵的入口處外部氣體壓強大於空間A內的壓強，因此將氣體吸入。當空間A與吸氣口隔絕時，即轉至空間B的位置，氣體開始被壓縮，容積逐漸縮小，最後與排氣口相通。旋片氣動隔膜泵泵是真空技術中最基本的真空獲得設備之一。旋片泵多為中小型泵。旋片泵有單級和雙級兩種。所謂雙級，就是在結構上將兩個單級泵串聯起來。一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵的抽速與入口壓強的關係規定如下：在入口壓強為1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速值分別不得低於泵的名義抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個旋片。旋轉時，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動旋片沿泵腔內壁滑動。兩個旋片把轉子、泵腔和兩個端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分，當轉子按箭頭方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的，正處於吸氣過程。
而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的，正處於排氣過程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的，氣動隔膜泵正處於壓縮過程。
