伺服閥的故障常常在電液伺服系統調試或工作不正常情況下發現的。所以這裡有時是系統問題包括放大器、反饋機構、執行機構等故障，有時確是伺服閥問題。所以首先要搞清楚是系統問題、還是伺服閥問題。解決這疑問的常用辦法是：一、有條件的將閥卸下，上實驗台複測一下即可。二、大多數情況無此
條件，這時一個簡單的辦法是將系統開環，備用獨立直流電源、經萬用表再給伺服閥供正負不同量值電流，從閥的輸出情況來判斷閥是否有毛病，是什麼毛病。閥問題不大，再找系統問題，例如：執行機構的內漏過大，會引起系統動作變慢，滯環嚴重、甚至不能工作；反饋信號斷路或失常等等，放大器問題有輸出信號畸變或不工作，系統問題這裡不祥談，下面主要談談閥的故障。
（1）閥不工作
原因有：馬達線圈斷線，脫焊；還有進油或進出油口接反。再有可能是前置級堵塞，使得閥芯正好卡在中間死區位置，閥芯卡在中間位置當然這種幾率較少。馬達線圈串聯或並聯兩線圈接反了，兩線圈形成的磁作用力正好抵消。
（2）閥有一固定輸出，但已失控
原因：前置級噴嘴堵死，閥芯被贓物卡著及閥體變形引起閥芯卡死等，或內部保護濾器被贓物堵死。要更換濾芯，返廠清洗、修復。
（3）閥反應遲鈍、響應變慢等
原因：有系統供油壓力降低，保護濾器局部堵塞，某些閥調零機構鬆動，及馬達另部件鬆動，或動圈閥的動圈跟控制閥芯間鬆動。系統中執行動力元件內漏過大，又是一個原因。此外油液太臟，閥解析度變差，滯環增寬也是原因之一。
（4）系統出現頻率較高的振動及雜訊
原因：油液中混入空氣量過大，油液過臟；系統增益調的過高，來自放大器方面的電源噪音，伺服閥線圈與閥外殼及地線絕緣不好，是通非通，顫振信號過大或與系統頻率關係引起的諧振現象，再則相對低的系統而選了過高頻率的伺服閥。
（5）閥輸出忽正忽負，不能連續控制，成「開關」控制。
原因：伺服閥內反饋機構失效，或系統反饋斷開，不然是出現某種正反饋現象。
（6）漏油
原因：安裝座表面加工質量不好、密封不住。閥口密封圈質量問題，閥上堵頭等處密封圈損壞。馬達蓋與閥體之間漏油的話，可能是彈簧管破裂、內部油管破裂等。
伺服閥故障排除，有的可自己排除，但許多故障要將閥送到生產廠，放到實驗台上返修調試，再強調一遍：不要自己拆閥，那是很容易損壞伺服閥零部件的。
用伺服閥較多的單位可以自己裝一個簡易實驗台來判斷是系統問題還是閥的問題，閥有什麼問題，可否再使用。
