用水蒸汽作為動力介質的齒輪泵形成真空是一個重要應用領域。其輸送的高速噴射相當於聲速的幾倍，因此齒輪泵也能夠輕而易舉地在真空中處理大容量的物質。
因為齒輪泵只能克服極其有限的壓縮比，當抽吸壓力低時，幾個齒輪泵必須串聯安裝。多級水蒸汽噴射真空泵的抽吸壓力可以達到低至0.01mbar。為了冷凝大部分的動力水蒸汽並使下一級的抽吸量減少到最小，一般在兩個齒輪泵中間安置一個冷凝器。根據應用場合，採用直接接觸冷凝器或表面冷凝器。
齒輪泵是被廣泛應用於輸送，壓縮混合氣體和蒸汽、液體和固體的設備，氣體或液體常被作為動力介質。齒輪泵用於產生真空是另一個非常重要的應用。
在齒輪泵中主要以水蒸汽作為動力介質。在絕大部分工業中，水蒸汽作為基本的能量被大量地生產，因此非常容易獲得。在動力水蒸汽的冷凝過程中，或多或少會產生廢水。雖然量很小，而且即使把廢水的排放費用考慮進去，水蒸汽齒輪泵仍是最經濟的真空泵，但對真空齒輪泵來說總是有一定的負面影響。
在這種情況下，動力蒸汽冷凝后再次蒸發被利用作為動力介質。齒輪泵由於有機蒸汽的蒸發溫度低，在大多數情況下，這種操作方式比採用水蒸汽運行更有利於節省能源。
