螺桿式真空泵與螺桿式壓縮機的工作原理相同。國內外均有市銷產品，特別適用於化工、製藥、航天航空等需要清潔抽氣的環境。其基本結構有兩種：
（3） 目前國外出現了變螺距的設計，提高了效率、降低了排出氣體的溫度。此類型的泵可以從大氣壓下開始全速抽吸至壓力為130Pa,而其極限真空可達1.3Pa，抽數從120-2700m3/h。
