一、往複真空泵
往複真空泵的工作原理與往複壓縮機基本相同，結構差異也不大，只是所用的閥門必須更加
輕巧，啟閉方便。當所需達到的真空度較高時，壓縮比很大，余隙中殘留氣體的影響便很大，故真空系的余隙必須很小。為了降低佘隙的影響，在真空泵氣缸左右兩端之間設置平衡氣道。活塞排氣終了時，讓平衡氣道連通一個很短的時間，使余隙中殘留的氣體從活塞的一側流到另一側，從而降低其壓力。
二、水環真空泵
圓形殼內有一偏心安裝的葉輪，泵內裝有一定量的水。轉子旋轉時，由於離心力的作用，將水甩至殼壁上形成水環。此水環起密封作用，把葉片間空隙封閉成許多大小不同的小室。轉子旋轉到右半部，密封的小室體積逐漸擴大，氣體從右邊的吸氣口吸入;轉子旋轉到左半部，小室的體積逐漸縮小，氣體便由左邊的排氣口排出。
水環真空泵所形成的其空度受水溫限制，一般可達83.4x103Pa左右。該泵也可作鼓風機用，所產生的壓力(表壓)不超過98.07x103Pa.
水環真空繫結構簡單、緊湊，製造容易，維修方便，又由於旋轉部分沒有機械摩擦，故使用壽命長。
水環真空泵適於輸送腐蝕性，或易爆性氣體。缺點是效率較低，一般為30~50%。
三、水噴射真空泵
噴射泵的工作流體若為水，則稱為水噴射泵;若為水蒸氣，則稱為蒸氣噴射泵。
單級蒸氣噴射泵壓力可達0.01MPa,若要達到更高的真空度，可採用多級噴射系。
噴射真空泵的優點是工作壓力範圍廣，抽氣量大，結構簡單。缺點是效率很低。
