前期油泵泵的維護
1.安全信息
泵必須由接受過適當培訓的技術員來維護；
確認該技術員對泵油及系統的產物十分熟悉；
做維護之前必須將泵停下，降到安全的溫度；斷開泵及其他元件與電路的連接，以避免發生意外；
維護完畢，在沒接上電源之前，重新檢查一下泵的旋轉方向；
‘O’rings和墊圈如果損壞不可重複利用；
在運轉過程中，泵和油會受到化學品的污染。所以，應確認泵是否清洗乾淨，並採取足夠的措施防止這些有害物質對人員的傷害；
維護完畢后，應檢查是否有泄露的地方，如有，應重新密封；
不要接觸或吸入泵受高溫（260℃）產生的熱降解的產物，它們是很危險的，包括油、油脂和真空脂。
檢查前置真空泵油位：
根據需要，可以在泵運轉的時候檢查油位，但如果要往裡加油時則需斷開前置真空泵及相關部件與電源的連接。
1.透過前置真空泵的可視窗口檢查油位是否在最低限以上，最高限以下。
2.如果油位在最低限或低於最低限，打開加油孔，加油至最高限，如加得過滿可從出口放掉點。
3.如果油污染嚴重時，放掉受污染的油，清洗泵后加入乾淨的油。
更換前置真空泵油：
1.開啟泵運轉10分鐘以加熱泵油，然後關泵（油加熱后可降低其粘性，比較容易倒出來）。
2.斷開泵和電路及真空系統的連接。
3.取下加油孔的塞子。
4.將泵放在一個適當的支撐物（如：凳子）上以方便泵的傾斜，在排油口下放合適的容器。取下排油口的塞子，讓油在重力的作用下流到容器中。
5.油受到污染時：
5.1取下加油孔的塞子，倒進乾淨的油。
5.2重新連上泵和電路的連接，開泵運轉5-10分鐘。
5.3斷開泵和電路的連接，取下排油口的塞子，讓油流出來。
5.4重複上述步驟直到將泵清洗乾淨。
6.塞上排油口的塞子，移掉支撐物，重新接上泵和電路及真空系統的連接。
7.裝上新油，直到油位達到MAX位置附近。
8.等幾分鐘直到油抽到泵中，需要的話，可再添油（需再關泵）。塞上加油孔的塞子。
檢查和清潔前置真空泵入口過濾器
1.旋開入口轉接器，取下‘O’ring，彈性擋圈和入口過濾器。
2.用適當的溶液清洗入口過濾器，陰乾入口過濾器。
3.重新裝上入口過濾器、彈性擋圈、‘O’ring和入口轉接器。
清潔前置真空泵載氣濾網：
1.取下固定墊圈。
2.取下金屬絲網及濾頭元件。
3.用合適的溶劑清洗金屬絲網及濾頭元件，陰乾后重新裝在泵上。
4.重新固定好固定墊圈。
清洗馬達風扇周圍：
1.關掉泵，斷開其與電源的連接。
2.利用乾的布或毛刷清除電動機的風扇罩和圍欄的污染物。
注意:
如果電動機的風扇罩及周圍不保持乾淨的話，進入馬達的氣流將受到限制從而導致泵過熱。
