「微型真空泵」和「真空發生器」是異曲同工的兩種裝置。主要區別就是，微型真空泵是用電的，而真空發生器是要用壓縮空氣產生真空。
在本來就有壓縮空氣的地方，使用真空發生器獲得真空是好的方案，而在沒有壓縮空氣的地方，用微型真空泵獲得真空更方便，沒有誰會為了獲得這點真空而專門採用空壓機搭配真空發生器的方案。
微型真空泵,微型氣泵,微型負壓泵,具有無油、免維護等特點，可廣泛用於機械手、晶元吸附裝置、印刷機械等工業自動化設備。
微型真空泵與真空吸盤配套用於吸附物品。以下幾種型號選用最多：
型 號 | 每平方厘米的面積上產生的吸附力
（理論值） | 流量 （L/min） |
PK5008 | 0.5（Kg） | 8 |
PC4020N | 0.6（Kg） | 20 |
PC3025N | 0.7（Kg） | 25 |
VCA5038B | 0.5（Kg） | 38 |
VCH1028 | 0.9（Kg） | 28 |
上表中的「吸附力」數據是在完全沒有漏氣的情況下（幾乎不可能），泵抽真空后在吸盤每平方厘米的面積上產生的吸附力數值。一般情況下，物品與吸盤之間多少會有漏氣。物品與吸盤之間的氣密性是影響吸附效果乃至決定成敗的關鍵因素，必須處理好。
吸附力的大小理論上只與泵的真空度和吸盤面積相關，而與泵的流量無關，但在實際使用中與泵的流量參數是相關的。原因如下：因為吸盤與被吸物體之間不可能做到絕對密封，總有一點漏氣，在這種情況下，微型真空泵的流量越大，泄漏量所佔的比例就越小，越有利於維持較高的真空度，從而得到更大的吸附力。比如，有兩台真空度相同的泵，A泵流量為1 L/min，B泵流量為20 L/min，同樣在0.5 L/min的泄漏情況下，A泵的真空度會降低很多，因為0.5 L/min的泄漏對A泵而言佔據了流量的50%，太大了。但0.5 L/min的泄漏對B泵來說僅占流量的2.5%，不算什麼，吸盤仍然可以維持較高的真空度。因此，雖然二者真空度相同，但在實際中，B泵產生的吸附力更大。 因此，泵選型時必須同時考慮真空度和流量兩個指標，只重視真空度指標是不夠的。
關於物體被吸住后的釋放問題。泵停機后，物體不一定會立即脫落，因為泵都有一定的保壓能力，真空還將繼續維持一會兒。要想立即釋放，就要在泵和吸盤之間增加一條泄壓支路，支路上連接一閥門，打開閥門泄氣，消除氣路系統的真空，這樣才能可靠地釋放物體。
雖然微型真空泵是無油的，也不怕抽取潮濕氣體，但抽取的氣體必須清潔無塵，要求加裝過濾器，否則灰塵在泵內累積會導致吸力下降。
