空氣經過過濾的生產環境首先被航空航天工業使用。即使一個極其微小的缺陷都可造成衛星工作失誤，因此，NASA （美國航空航天中心）和其服務商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾牆體的車間。而且首創了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。
半導體工業採用了許多這方面的技術。 然而一個主要的問題是當從小加工車間擴建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。 早期半導體工業把帶過濾天花板夾層和牆體的方法演化為潔凈工作台法。這個主要是把過濾器裝在單個工作台上，並使用無脫落的物質。 在工作台以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸。
在大型車間中按順序排列的工作台（叫做工作罩）組成加工區，使晶圓依工藝次序經過而不從露於空氣中。潔凈工作罩中的過濾器是一種高效顆粒搜集過濾器（HEPA過濾器）。這些過濾器是由含許多小孔，並按手風琴琴葉摺疊的脆性纖維組成，由於高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由於低速空氣可避免產生空氣流，有利於工作台的潔凈度，並且對於操作員而言，在舒適的環境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100 英寸。HEPA過濾器可達到99.99%或更高的過濾效率，並可用於三種凈化方法中。
一般來說，HEPA過濾器裝於潔凈工作台頂部。空氣由風扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA過濾器，並以均勻平行的方式流出，在工作台表面改變方向，流出工作台。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）工作台，它是由空氣流的方向命名的。有些工作台把HEPA過濾器裝於工作台後部，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式工作台。
高效顆粒搜集過濾器（HEPA）
Dirty Air臟空氣
Clean Air凈空氣
空氣層流立式工作台
Blower鼓風機
HEPA Filter HEPA過濾器
Prefilter前級過濾器
Shield擋板
Air Flow空氣流
Work Surface工作檯面
這兩種工作台按兩種方法來保持晶圓清潔：首先是工作台內的空氣凈化；其次，凈化過程在工作台內產生一點空氣正壓，正壓可防止由操作員與走廊產生的污染物進入工作台。
使用化學溶液的工藝需要對VLF式工作台進行特殊設計，這種工作台必須接有空氣排風，以吸收化學溶液蒸汽，因為蒸汽會產生安全及污染的危險。在這種設計下，必須平衡VLF與排風中的空氣流，來維持工作台的潔凈級別數。而且還要求晶片需存放在工作台中相對較潔凈的前部。
凈化工作台的方法還可應用於現代晶圓加工設備中。在每台設備上安裝VLF或HLF式工作台來保持晶圓在裝卸過程中潔凈。
