目前數控機床位置精度的檢驗通常採用國際標準ISO230-2或國家標準GB10931-89等。同一台機床，由於採用的標準不同，所得到的位置精度也不相同，因此在選擇數控機床的精度指標時，也要注意它所採用的標準。數控機床的位置標準通常指各數控軸的反向偏差和定位精度。對於這二者的測定和補償是提高加工精度的必要途徑。
一. 反向偏差
在數控機床上，由於各坐標軸進給傳動鏈上驅動部件(如伺服電動機、伺服液壓馬達和步進電動機等)的反向死區、各機械運動傳動副的反向間隙等誤差的存在，造成各坐標軸在由正向運動轉為反向運動時形成反向偏差，通常也稱反向間隙或失動量。對於採用半閉環伺服系統的數控機床，反向偏差的存在就會影響到機床的定位精度和重複定位精度，從而影響產品的加工精度。如在G01切削運動時，反向偏差會影響插補運動的精度，若偏差過大就會造成「圓不夠圓，方不夠方」的情形；而在G00快速定位運動中，反向偏差影響機床的定位精度，使得鑽孔、鏜孔等孔加工時各孔間的位置精度降低。同時，隨著設備投入運行時間的增長，反向偏差還會隨因磨損造成運動副間隙的逐漸增大而增加，因此需要定期對機床各坐標軸的反向偏差進行測定和補償。
反向偏差的測定方法：在所測量坐標軸的行程內，預先向正向或反向移動一個距離並以此停止位置為基準，再在同一方向給予一定移動指令值，使之移動一段距離，然後再往相反方向移動相同的距離，測量停止位置與基準位置之差。在靠近行程的中點及兩端的三個位置分別進行多次測定(一般為七次)，求出各個位置上的平均值，以所得平均值中的最大值為反向偏差測量值。在測量時一定要先移動一段距離，否則不能得到正確的反向偏差值。
測量直線運動軸的反向偏差時，測量工具通常采有千分表或百分表，若條件允許，可使用雙頻激光干涉儀進行測量。當採用千分表或百分表進行測量時，需要注意的是表座和表桿不要伸出過高過長，因為測量時由於懸臂較長，表座易受力移動，造成計數不準，補償值也就不真實了。若採用編程法實現測量，則能使測量過程變得更便捷更精確。
例如，在三坐標立式機床上測量X軸的反向偏差，可先將表壓住主軸的圓柱表面，然後運行如下程序進行測量：
N10 G91 G01 X50 F1000；工作台右移
N20 X－50；工作台左移，消除傳動間隙
N30 G04 X5；暫停以便觀察
N40 Z50；Z軸抬高讓開
N50 X-50：工作台左移
N60 X50：工作台右移複位
N70 Z-50：Z軸複位
N80 G04 X5：暫停以便觀察
N90 M99；
需要注意的是，在工作台不同的運行速度下所測出的結果會有所不同。一般情況下，低速的測出值要比高速的大，特別是在機床軸負荷和運動阻力較大時。低速運動時工作台運動速度較低，不易發生過沖超程(相對「反向間隙」)，因此測出值較大；在高速時，由於工作台速度較高，容易發生過沖超程，測得值偏小。
迴轉運動軸反向偏差量的測量方法與直線軸相同，只是用於檢測的儀器不同而已。
1. 反向偏差的補償
國產數控機床，定位精度有不少>0.02mm，但沒有補償功能。對這類機床，在某些場合下，可用編程法實現單向定位，清除反向間隙，在機械部分不變的情況下，只要低速單向定位到達插補起始點，然後再開始插補加工。插補進給中遇反向時，給反向間隙值再正式插補，即可提高插補加工的精度，基本上可以保證零件<
