真空泵
vacuum pump
利用機械、物理、化學、物理化學等方法對容器進行抽氣,以獲得和維持真空的裝置。真空泵和其他設備(如真空容器、真空閥、真空測量儀錶、連接管路等)組成真空系統,廣泛應用於電子、冶金、化工、食品、機械、醫藥、航天等部門。
按其工作原理,基本上分為氣體輸送泵和氣體捕集泵兩種類型。
氣體輸送泵包括:1、液環真空泵(水環真空泵)2、往複式真空泵3、旋片式真空泵4、定片式真空泵5、滑閥式真空泵6、余擺線真空泵7、乾式真空泵8、羅茨真空泵9、分子真空泵10、牽引分子泵11、複合式真空泵12、水噴射真空泵13、氣體噴射泵14、蒸汽噴射泵15、擴散泵等
氣體捕集泵包括:吸附泵和低溫泵等。
目前工業中應用最多的是水環式真空泵和旋片式真空泵等。