(1)床身和立柱
床身和立柱是基礎結構，由它確保電極與工作台、工件之間的相互位置。位置精度的高低對加工有直接的影響，如果機床的精度不高，加工精度也難以保證。因此，不但床身和立柱的結構應該合理，有較高的剛度，能承受主軸負重和運動部件突然加速運動的慣性力，還應能減小溫度變化引起的變形。
(2)工作台
工作台主要用來支承和裝夾工件。在實際加工中，通過轉動縱橫向絲桿來改變電極與工件的相對位置。工作台上裝有工作液箱，用以容納工作液，使電極和工件浸泡在工作液里，起到冷卻、排屑作用。工作台是操作者裝夾找正時經常移動的部件，通過移動上下滑板，改變縱橫向位置，達到電極與工具件間所要求的相對位置。
(3)主軸頭
主軸頭是電火花成形加工機床的一個關鍵部件，在結構上由伺服進給機構、導向和防扭機構、輔助機構三部分組成。用以控制工件與工具電極之間的放電間隙。
主軸頭的好壞直接影響加工的工藝指標，如生產率、幾何精度以及表面粗糙度，因此對主軸頭有如下要求:
1）有一定的軸向和側向剛度及精度；
2）有足夠的進給和回升速度；
3）主軸運動的直線性和防扭轉性能好；
4）靈敏度要高，無爬行現象；
5）具備合理的承載電極質量的能力。
我國早在20世紀60~70年代曾廣泛採用液壓伺服進給的主軸頭如DYT－l型、DYT－2型，目前已普遍採用步進電動機、直流電動機或交流伺服電動機作進給驅動的主軸頭。
(4)電火花加工機床的工作液和循環過濾系統
電火花加工時工作液的作用有以下幾方面:
1）放電結束后恢復放電間隙的絕緣狀態（消電離），以便下一個脈衝電壓再次形成火花放電。為此要求工作液有一定的絕緣強度，其電阻率在l03~106Ω•cm之間。
2）使電蝕產物較易從放電間隙中懸浮、排泄出去，免得放電間隙嚴重污染，導致火花放電點不分散而形成有害的電弧放電。
3）冷卻工具電極和降低工件表面瞬時放電產生的局部高溫，否則表面會因局部過熱而產生結炭、燒傷並形成電弧放電。
4）工作液還可壓縮火花放電通道，增加通道中壓縮氣體、等離子體的膨脹及爆炸力，以拋出更多熔化和氣化了的金屬，增加蝕除量。
目前採用煤油作為電火花成形加工的工作液，因為新煤油的電阻率為106Ω•cm，而使用中在l05~104Ω•cm之間，且比較穩定，其粘度、密度、表面張力等性能也全面符合電火花加工的要求。不過煤油易著火。因此當粗規准加工時，應使用機油或摻機油的工作液。
(5)電火花成型機床的脈衝電源
脈衝電源的作用是把工頻交流電轉換成供給火花放電間隙所需要的能量來蝕除金屬。脈衝電源對電火花加工的生產率、表面質量、加工速度、加工過程的穩定性和工具電極損耗等技術經濟指標有很大的影響。
現在普及型
（經濟型）的電火花加工機床都採用高低壓複合的晶體管脈衝電源，中、高檔的電火花加工機床都採用微機數字化控制的脈衝電源，而且內部存有電火花加工規准資料庫，可以通過微機設置和調用各檔粗、中、精加工規准參數。
(6)電火花加工機床的伺服進給
電火花加工與切削加工不同，屬於「不接觸加工」。正常電火花加工時，工具和工件間有一放電間隙S。如果間隙過大，脈衝電壓擊不穿間隙間的絕緣工作液，則不會產生火花放電，必須使電極工具向下進給，直到間隙S等於或小於某一值（一般S＝0.1~0.01mm，與加工規准有關），才能擊穿併產生火花放電。在正常的電火花加工時，工件以
w的速度不斷被蝕除，間隙S將逐漸擴大，必須使電極工具以速度 d補償進給，以維持所需的放電間隙。如進給量 d大於工件的蝕除速度
w，則間隙S將逐漸變小，甚至等於零，形成短路。當間隙過小時，必須減少進給速度 d 。如果工具工件間一旦短路（S＝0），則必須使工具以較大的速度 d
反向快速回退，消除短路狀態，隨後再重新向下進給，調節到所需的放電間隙。這是正常電火花加工所必須解決的問題。
