反滲透純水處理設備（反滲透裝置）通常由精密過濾器、高壓泵、反滲透膜、壓力容器以及相應的儀器、儀錶、閥門、機架、管道及管件等組成。
1、精密過濾器
又稱保安過濾器，因為能對反滲透裝置起到必要的保護作用而得名。有人把它當做為預處理的一部分，也也有人把它做為反滲透裝置的組成部分。精密過濾器用以去除極微小的顆粒。普通砂濾能夠去除很小的固體顆粒，使出水濁度達到1NTU 左右，但出水仍然含有大量粒徑在1～5μm 的顆粒，這些顆粒是砂濾無法去除的，雖然顆粒極小，可是如果直接進入反滲透主機，在RO 膜的濃縮作用下，仍然會造成膜元件的污染，要去除這些顆粒，就必須採用精密過濾。精密過濾器常設置在壓力過濾器之後，有時也設置在整個預處理工藝的末端防止破碎的濾料、活性炭、樹脂等進入反滲透系統，盡量做到不將上道工序產生的微粒帶到下一道工序中去。濾孔孔徑應與水中所含雜質的粒徑相匹配，避免過粗或過細。
2、高壓泵
高壓泵是反滲透設備的主要動力設備，高壓泵應設置高過熱保護，泵前後分別設置低、高壓保護開關。當高壓泵進水壓力低於設定值后，高壓泵停運，以保護高壓泵；當高壓泵出口壓力高於設定值后，高壓泵停運，以保護反滲透膜。在大型的反滲透系統中，為了防止高壓泵啟動時對供電電網的衝擊，一般設軟啟動器或變頻控制器來啟動高壓泵。
3、反滲透膜
反滲透膜是一種由壓力驅動的新型分離膜，在壓力推動下，溶液中的水分子透過膜，而其它分子、離子、細菌、病毒等被截留，從而達到製取純水的目的。反滲透膜的孔徑小於1nm(納米)，能有效去除二價離子，對一價離子的去除率也可達95～99%；對低分子量有機物的去除率可達100％；反滲透系統能夠除去原水中99%以上的礦物質、細菌、病毒、熱原及細菌內毒素等。
反滲透膜的橫向流速
由於進水中雜質被濃縮后必須由剩餘的水帶走，更高的橫向流速能降低濃差極化和污染物在膜表面的沉積速度。但是過高的橫向流速將導致進水流量增大，對提高經濟效益不利，同時會造成膜元件進出水壓力降增加，引起望遠鏡現象，所以我們規定了膜元件的最大進水流量和最小濃水流量（如下表）。
另外，污染速度還受回收率、進水含鹽量等參數影響。
8英寸膜元件 4英寸膜元件 2.5英寸膜元件
最大進水流量（m3/h） 19 3.6 1.0
最小濃水流量（m3/h） 4.4 0.95 0.25
4、壓力容器
盛裝反滲透膜，其容器材質多為不鏽鋼和玻璃鋼兩種，根據膜的規格來確定，一般單支壓力容器最多可以裝填6支反滲透膜。當壓力串聯時，前面膜的濃水作為後面膜的進水，如此下去，所有容器兩側端板上的產水口連接到總的產水管。
5、相關儀器、儀錶
反滲透設備的最基本的儀器、儀錶有壓力表、流量計、電導率儀、壓力保護器；
壓力表：設在泵前、泵后、段間、濃水、產水側，在線指示反滲透裝置的運行壓降，根據此信息判斷膜的堵塞狀況。
流量計：一般設在產水和濃水口，依此調節濃水、淡水產水比例使反滲透系統達到最佳回收率；進水流量則由濃水流量+產水流量計算得出。
電導率儀：用以在線監測產品水水質情況。
壓力保護器:分為高壓保護和低壓保護器。高壓保護器設在高壓泵后，當系統因故障等原因，造成泵后壓力急劇增高時，高壓保護器向高壓泵發出指令，使高壓泵停止運行，以避免對設備造成更大的損害；低壓保護器設在高壓泵前，當原水因缺水等原因造成進水壓力或流量不足時，低壓保護器向高壓泵發出指令，使高壓泵停止運行，以避免高壓泵空轉而對系統造成更大的損害。
6、閥門
在反滲透裝置的給水、濃水、產品水管道設有自動控制閥，對反滲透進行停機保護、保護沖洗、產品水超標自動排放；在產品水和濃水管道設有調節閥門，來調節產品水和濃水的產水量及產水比例，使設備滿足系統設計要求及系統達到最佳運行狀態。
7、管道
反滲透純水處理設備（反滲透裝置）的高壓管道一般採用不鏽鋼管道；低壓管道可採用UPVC材質。
8、保護沖洗、化學清洗裝置
保護沖洗裝置：在反滲透初次運行的時候，用原水對系統進行低壓沖洗，目的是將膜中保護液衝出來，使膜充分濕潤，並且儘快適應原水的水質、水溫等；在反滲透設備每次停止運行的時候，用除鹽水將系統中的濃水置換出來，使設備停止運行時使整個設備處在一個相對清潔的環境中，可有效防止水中污染物質沉積在膜表面。
化學清洗裝置：反滲透裝置在正常運行條件下，反滲透膜被無機物垢、膠體、微生物、金屬氧化物等污染，這些物質沉積在膜表面，引起反滲透裝置出力下降或脫鹽率下降。為了恢復良好的透水和除鹽性能，需對膜進行化學清洗。
清洗裝置是反滲透系統中十分重要的部分，通常大中型系統均設有專用的清洗系統，但是對於小型(產水量＜5 噸/小時）反滲透系統，由於受到成本的限制，有時不設清洗裝置，但必須考慮到對膜元件進行化學清洗時系統的擴展性及設備的可維護性。
一般的清洗裝置由清洗水箱、清洗水泵、保安過濾器、管道、閥門和控制儀錶(壓力表、流量表、溫度計)等組成。特殊要求時，清洗箱可裝上加熱或冷卻裝置。
